上海快三app

?
?

CONTACT US

聯系我們

地  址:蘇州市相城區相城大道168號
電  話:0512-69350430
郵  箱:115154709@qq.com
查看更多聯系我們

常見防靜電問題

您的當前位置: > 常見防靜電問題 >

半導體無塵室安全工作規章

時間:2017-08-15  編輯:通格電子字體:
分享到:

半導體電子廠中,最有效防靜電防塵防污染方法就是設立專用的不同級別無塵室(十萬級、萬級、千級、百級),無塵室除了硬件設備配置齊全標準之外,日常工作中的管理規范也是必不可少,以下是專業的外企半導體無塵室安全工作規范,提供給廣大客戶以供參考:
 半導體無塵室安全工作規章

一、無塵室穿戴須知:

1. 進入無塵室前,必須知會管理人,并通過基本訓練。
2. 進入無塵室嚴禁吸煙,吃(飲)食,外來雜物(如報章,雜志,鉛筆...等)不可攜入,并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。
3. 進入無塵室前,需在規定處所脫鞋,將鞋置于鞋柜內,外衣置于衣柜內,私人物品置于私人柜內,柜內不可放置食物。
4. 進入無塵室須先在更衣室,將口罩,無塵帽,無塵衣以及鞋套按規定依程序穿戴整齊,再經空氣洗塵室洗塵,并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。
5. 戴口罩時,應將口罩戴在鼻子之上,以將口鼻孔蓋住為原則,以免呼吸時污染芯片。
6. 穿著無塵衣,無塵帽前應先整理服裝以及頭發,以免著上無塵衣后,不得整理又感不適。
7. 整肅儀容后,先戴無塵帽,無塵帽的穿戴原則為:
(1)頭發必須完全覆蓋在帽內,不得外露。
(2)無塵帽下擺要平散于兩肩之上,穿上工作衣后,方不致下擺脫出,裸露肩頸部。
8. 無塵帽戴妥后,再著無塵衣,無塵衣應尺寸合適,才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞,穿衣時應注意無塵帽下擺應保持平整狀態,無塵衣不可反穿。
9. 穿著無塵衣后,才著鞋套,拉上鞋套并將鞋套整平,確實蓋在褲管之上。
10. 戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染),戴上手套后,應將手套之手腕置于衣袖內,以隔絕污染源。
11. 無塵衣著妥后,經洗塵,并踩踏除塵毯,方得進入無塵室。
12. 不論進入或離開無塵室,須按規定在更衣室脫無塵衣,不可在其它區域為之,尤不可在無塵室內邊走邊脫。
13. 無塵衣,鞋套等,應定期清洗,有破損,脫線時,應立即換新。
14. 脫下無塵衣時,其順序與穿著時相反。
15. 脫下的無塵衣應吊好,并放于更衣室內上層柜子中;鞋套應放置于吊好的無塵衣下方。
16. 更衣室內小柜中,除了放置無塵衣等規定物品外,不得放置其它物品。
17. 除規定紙張及物品外,其它物品一概不得攜入無塵室。
18. 無塵衣等不得攜出無塵室,用畢放置于規定處所。
19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。
20. 任何東西進入無塵室,必須用灑精擦拭干凈。
21. 任何設備的進入,請知會管理人,在無塵室外擦拭干凈,方可進入。
22. 未通過考核之儀器,禁止使用,若遇緊急情況,得依緊急處理步驟作適當處理,例如關閉水、電、氣體等開關。
23. 無塵室內絕對不可動火,以免發生意外。

二、無塵室操作須知

1.   處理芯片時,必須戴上無纖維手套,使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片,請勿以手指或其它任何東西接觸芯片,遭碰觸污染過的芯片須經清洗,方得繼續使用:
(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過,或是鑷子掉落地上,必須拿去清洗,請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
(2) 芯片清洗后進行下一程序前,若被手指碰觸過,必須重新清洗。
(3) 把芯片放置于石英舟上,準備進爐管時,若發現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染,必須將芯片重新清洗,并立即更換干凈的鑷子使用。
2. 芯片必須放置盒中,蓋起來存放于規定位置,盡可能不讓它暴露。
3. 避免在芯片上方談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,請特別注意,防止上述動作產生,若芯片上沾有纖維屑時,用氮氣槍噴之。
4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上,取出芯片時,必須垂直向上挾起,避免刮傷芯片,顯微鏡鏡頭確已離芯片,方可從吸座上移走芯片。
5. 芯片上,若已長上氧化層,在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
6. 操作時,不論是否戴上手套,手絕不能放進清洗水槽。
7. 使用化學站或烤箱處理芯片時,務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內,不可使用塑料盒。
8. 擺置芯片于石英舟時,若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片,然后再進氧化爐。
9. 請勿觸摸芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片污染,必須重作清洗。
10. 手套,廢紙及其它雜碎東西,請勿留置于操作臺,手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。
11. 非經指示,絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。
12. 奇怪的味道或反應異常的溶液,顏色,聲響等請即通知相關人員。
13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時,務必立刻告知負責人員或老師。
14. 芯片盒進出無塵室須保持干凈,并以保鮮膜封裝,違者不得進入。
15. 無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄,一般紙張與鉛筆不得攜入。

三、黃光區操作須知

1. 濕度及溫度會影響對準工作,在黃光區應注意溫度及濕度,并應減少對準機附近的人,以減少濕、溫度的變化。
2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片,不得攜出黃光區以免感光。
3. 己上妥光阻,而在等待對準曝光之芯片,應放置于不透明之藍黑色晶盒之內, 盒蓋必須蓋妥。
4. 光罩使用時應持取邊緣,不得觸及光罩面,任何狀況之下,光罩鉻膜不得與他物接觸,以防刮傷,光罩之落塵可以氮氣槍吹之。
5. 曝光時,應避免用眼睛直視曝光機汞燈。

四、鑷子使用須知

1. 進入實驗室后,應先戴上手套后,再取鑷子,以免沾污。
2. 唯有使用干凈的鑷子,才可持取芯片,鑷子一旦掉在地上或被手觸碰,或因其它原因而遭污染,必須拿去清洗,方可再使用。
3. 鑷子使用后,應放于各站規定處,不可任意放置,如有特殊制程用鑷子,使用后應自行保管,不可和實驗室內各站之鑷子混合使用。
4. 持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。
5. 挾取芯片時,順序應由后向前挾取,放回芯片時,則由前向后放回,以免刮傷芯片表面。
6. 挾取芯片時,"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面,"長邊" (平頭)置于芯片背面,挾芯片空白部分,不可傷及芯片。
7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。
8. 鑷子僅可做為挾取芯片用,不準做其它用途。

五、化學藥品使用須知

1. 化學藥品的進出須登記,并知會管理人,并附上物質安全資料表(MSDS)于實驗室門口。
2. 使用化學藥品前,請詳讀物質安全資料表(MSDS),并告知管理人。
3. 換酸前必先穿著防酸塑料裙,戴上防酸長袖手套,頭戴護鏡,腳著塑料防酸鞋,始可進行換酸工作。
4. 不得任意打開酸瓶的蓋子,使用后立即鎖緊蓋子。
5. 稀釋酸液時,千萬記得加酸于水,絕不可加水于酸。
6. 勿嘗任何化學藥品或以嗅覺來確定容器內之藥品。
7. 不明容器內為何種藥品時,切勿搖動或倒置該容器。
8. 所有化學藥品之作業均須在通風良好或排氣之處為之。
9. 操作各項酸液時須詳讀各操作規范。
10. 酸類可與堿類共同存于有抽風設備的儲柜,但絕不可與有機溶劑存放在一起。
11. 廢酸請放入廢酸桶,不可任意傾倒,更不可與有機溶液混合。
12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內,不可任意傾倒或倒入廢酸桶內。
13. 勿任意更換容器內溶液。
14. 欲自行攜入之溶液請事先告知經許可后方可攜入,如果欲自行攜入之溶液具有危險性時,必須經評估后方可攜入,并請于容器上清楚標明容器內容物及保存期限。
15. 廢液處理:廢液分酸、堿、氫氟酸、有機、等,分開處理并登記,回收桶標示清楚,廢液桶內含氫氟酸等酸堿,絕對不可用手觸碰。
16. 漏水或漏酸處理:漏水或漏酸時,為確保安全,絕對不可用手觸碰,先將電源總開關與相關閥門關閉,再以無塵布或酸堿吸附器處理之,并報備管理人。

六、化學工作站操作

1.   操作時須依規定,戴上橡皮手套及口罩。
2.   不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中。
3.   添加任何溶液前,務必事先確認容器內溶劑方可添加。
4.   在化學工作站工作時應養成良好工作姿勢,上身應避免前傾至化學槽及清洗槽之上方,一方面可防止危險發生,另一方面亦減少污染機會。
5.   化學站不操作時,有蓋者應隨時將蓋蓋妥,清洗水槽之水開關關上。
6.   化學藥品濺到衣服、皮膚、臉部、眼睛時,應即用水沖洗濺傷部位15分鐘以     上,且必須皮膚顏色恢復正常為止,并立刻安排急救處理。
7.   化學品外泄時應迅速反應,并做適當處理,若有需要撤離時應依指示撤離。
8.   各化學工作站上使用之橡皮手套,避免觸碰各機臺及工作臺,及其它器具等物,一般操作請戴無塵手套。
 

?